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高出力エキシマモジュール

新規開発のランプ・ユニット設計により従来比6倍以上の高照度エキシマランプを実現しました。

  • ランプ表面照度300mW/cm2以上の強力な真空紫外光(172nm)により、タクトタイム短縮に貢献します。
  • ランプ本数が少なく、省スペース化に役立ちます。
  • 点滅点灯で消費電力を最小限に抑えます。
  • 単一波長のため、ワークの低温処理が可能です。
高出力エキシマランプ:イメージ
照度分布(照射距離0mm):グラフ

用途

半導体、液晶基板のドライ洗浄、アッシング
ゴムローラ、シリコンシート等の表面改質など

仕様

波長172nm
照度300 mW/cm2以上(照射距離0mm)
軸方向均斉度±10%以下
寿命2000Hr(照度維持率70%以上,100Hrを100%と定義)
有効発光長120〜1540mm
冷却水冷

※ ご要求のワークに応じて最適な照射ユニットを提案いたします。

※ 基礎実験に便利な実験用照射ユニットもラインアップしています。

器具イメージ

実験用照射ユニット(有効長120mm)

洗浄メカニズム

  • エキシマランプより高い光エネルギーをもつ172nmを照射(図1)
  • 172nmのエネルギーで、有機物の結合を直接切断(図2)
  • 172nmの酸素分解で生成されるオゾンなどの活性酸素種が有機物を分解 → 除去(図2)
分光分布特性
洗浄メカニズム:イメージ

洗浄性能

従来品との洗浄性能比較

ランプ灯数1灯
照射対象物無アルカリガラス
照射距離3.0mm
処理時間に対する接触角変化

接触角測定の方法

接触角測定の方法:イメージ

基板表面に水滴を滴下し、液体と基板表面とのなす角度を測定

<洗浄後の接触角> 接触角5°以下:イメージ

※ 測定器 照度計:UIT-250 VUV-S172(USHIO製)
接触角計 CA-S150(協和界面科学製)にて測定

デモ機(試作機)による洗浄、改質実験も可能です。お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせ

東芝ライテック 産業デバイス営業部

電話

UVシステム・産業用デバイス
044-331-7571

電話

車載用光源
044-331-7570

FAX

FAX
044-548-9609

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