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車載用光源・UVシステム・産業用デバイス
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キセノンエキシマランプから放射する172nmの真空紫外線および大気中で発生するオゾンを利用して、半導体ウエハーや液晶ガラス基板の表面光洗浄用、樹脂やゴム材料の表面改質にもご利用頂けます。
| 品名 | 管径 (mm) |
全長 (mm) |
発光長 (mm) |
ランプ 電流 (A) |
ランプ 電圧 (V) |
ランプ 電力 (W) |
172nm照度 (mW/cm2) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GLE140 | Φ17.5 | 441 | 276 | 1.8 | 78 | 140 | 50 |
| GLE220 | Φ17.5 | 745 | 580 | 3.0 | 73 | 220 | 50 |
| GLE350 | Φ17.5 | 1115 | 950 | 1.8 | 195 | 350 | 50 |
※ 照度測定距離：0m
東芝ライテック
産業デバイス事業部 営業部
UVシステム・産業用デバイス
044-576-6199
車載用光源
044-576-6198
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