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エキシマランプ

器具画像

キセノンエキシマランプから放射する172nmの真空紫外線および大気中で発生するオゾンを利用して、半導体ウエハーや液晶ガラス基板の表面光洗浄用、樹脂やゴム材料の表面改質にもご利用頂けます。

特長

  • キセノンのエキシマ発光である172nmの真空紫外線を放射するランプ
  • 大気中の点灯でオゾンを発生する

用途

  • 洗浄: FPD、半導体製造のUV洗浄
  • 改質: FPD、半導体製造の表面改質
  • 貼合せ: ガラス、フィルム貼合せ
  • 実験: 各種光化学実験

外形寸法/電気特性

寸法図

品名 管径
(mm)
全長
(mm)
発光長
(mm)
ランプ
電流
(A)
ランプ
電圧
(V)
ランプ
電力
(W)
172nm照度
(mW/cm2)
GLE140 Φ17.5 441 276 1.8 78 140 50
GLE220 Φ17.5 745 580 3.0 73 220 50
GLE350 Φ17.5 1115 950 1.8 195 350 50

※ 照度測定距離:0m

分光分布

分光分布(グラフ)

お問い合わせ

東芝ライテック 産業デバイス営業部

電話

電話:産業用光源
044-331-7571

電話

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