UV技術製品ラインナップ | 東芝ライテック(株)

UVランプ

エキシマランプグラフ

UV/03光洗浄用の高出力UVエキシマ照射ユニットにおける開発コンセプトは、装置大型化、合成石英窓ガラスの大型化、窒素ガス量の増量などの大型基板化による問題点をクリアすることでした。新開発のエキシマランプは

(1) 大型基板の搬送・バッチ式の選択が可能。
(2) 合成石英窓が不要。
(3) ユーティリティ窒素が不要。
(4) 積算光量（ランプ使用数）の増減が可能。

の4大メリットにより、問題を解決しました。

低圧紫外線ランプ　グラフ

高出力低圧UVランプ（GLQシリーズ）は高出力でかつ高効率にUV（波長185nm、254nm）を放射するランプです。GLQシリーズは光洗浄、光アッシングなど強力なUVを必要とする用途に最適な光源であり、上下水道の浄化、殺菌などを含めた幅広い用途に使用できます。

高圧紫外線ランプ写真

高圧UVランプは一重管式でアーク放電長が長く、UV硬化（Curing）用として使われています。その種類は、

(1) 1～10気圧の水銀蒸気中でアーク放電させる高圧水銀ランプ。

(2) 金属化合物を封入して長波長領域発光を幅広く強いメタルハライドランプ。

の2種類があります。

低圧紫外線ランプ

超高圧水銀ランプ　写真

超高圧水銀ランプ　グラフ

直流用の超高圧水銀ランプは、半導体マスクアライメントやウェハー露光などのフォトリソグラフィ分野、あるいはUV硬化型の樹脂、接着剤、塗料などの硬化・乾燥に用いるUV応用機器の光源として開発されたランプです。

電子部品、光学部品の精密接着や、塗装の乾燥をはじめ、液晶封止やDVD接着、半導体プロセスなどの加工にお使いいただけるように開発しました。独自の光学技術により、精度の高いUV照射を実現しました。250Ｗ、750Ｗ、 2000Ｗランプを使用し、ラインナップも充実しています。

当社オリジナルの細管キセノンエキシマランプを新開発の空冷式灯具に搭載しました。非常にシンプル・コンパクトな設計により、僅かなスペースでも設置可能であるとともに、メンテナンスも大変容易です。

東芝ライテック

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