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車載用光源・UVシステム・産業用デバイス
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紫外線(UV)照射により生じる様々な物質の化学反応を利用して、様々な分野でUV照射技術が応用されています。その用途は、硬化、乾燥、洗浄などの製造プロセス分野をはじめ、殺菌・滅菌など環境分野など多岐にわたり、その目的物によって波長やランプが選定されています(表参照)。
主な応用分野、用途 | 作用波長域(nm) | 主な関連UVランプ |
---|---|---|
リソグラフィー | 0.1 〜 480 | 超高圧水銀ランプ、エキシマランプなど |
光CVD | 150 〜 400 | 高圧UVランプ、エキシマランプなど |
光洗浄、光アッシング | 150 〜 300 | 低圧UVランプ、高圧UVランプ、エキシマランプ |
オゾン生成、陰イオン生成 | 150 〜 200 | 低圧UVランプ |
殺菌 | 220 〜 320 | 低圧UVランプ |
脱臭、分解 | 220 〜 380 | 低圧UVランプ |
光触媒反応 | 200 〜 380 | 低圧UVランプ |
硬化、乾燥 | 220 〜 480 | 高圧UVランプ、メタルハライドランプ |
光合成 | 250 〜 600 | 高圧UVランプ、メタルハライドランプ |
UV照射による処理は、以下のような特長を持っています。
UV照射による硬化・洗浄・殺菌処理は、熱による処理よりも短時間・省エネルギーで同様の効果を発揮します。また、プラスチックなど熱により変形しやすい材料の硬化・乾燥にも適しています。
薬品による殺菌処理は、薬品残留物や有害な副生成物が出る可能性がありますが、UVによる殺菌処理はそのような副産物の発生の恐れがなく、クリーンな処理が可能です。
東芝ライテック
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