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UV技術 紫外線(UV)の応用について

紫外線(UV)照射により生じる様々な物質の化学反応を利用して、様々な分野でUV照射技術が応用されています。その用途は、硬化、乾燥、洗浄などの製造プロセス分野をはじめ、殺菌・滅菌など環境分野など多岐にわたり、その目的物によって波長やランプが選定されています(表参照)。

UVランプの産業応用の概要

主な応用分野、用途 作用波長域(nm) 主な関連UVランプ
リソグラフィー 0.1 〜 480 超高圧水銀ランプ、エキシマランプなど
光CVD  150 〜 400 高圧UVランプ、エキシマランプなど
光洗浄、光アッシング 150 〜 300 低圧UVランプ、高圧UVランプ、エキシマランプ
オゾン生成、陰イオン生成 150 〜 200 低圧UVランプ
殺菌 220 〜 320 低圧UVランプ
脱臭、分解 220 〜 380 低圧UVランプ
光触媒反応 200 〜 380 低圧UVランプ
硬化、乾燥 220 〜 480 高圧UVランプ、メタルハライドランプ
光合成 250 〜 600  高圧UVランプ、メタルハライドランプ

特長

UV照射による処理は、以下のような特長を持っています。

高効率

UV照射による硬化・洗浄・殺菌処理は、熱による処理よりも短時間・省エネルギーで同様の効果を発揮します。また、プラスチックなど熱により変形しやすい材料の硬化・乾燥にも適しています。

環境に優しい

薬品による殺菌処理は、薬品残留物や有害な副生成物が出る可能性がありますが、UVによる殺菌処理はそのような副産物の発生の恐れがなく、クリーンな処理が可能です。

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