ライン導入に絶大な威力を発揮する、省スペース・メンテナンス容易なキセノンエキシマUV照射ユニット

表面改質、半導体洗浄、液晶基板洗浄

コンパクト設計

ラインの僅かなスペースに設置可能であるとともに、メンテナンスも大変容易です。

ランプ収納容積が小さいため、必要N2量が少なく、ユーティリティの面でも優れています。

長寿命

細管エキシマランプは寿命特性に優れており、2000時間においても照度維持率70%以上を保持します。

拡張性

ランプ長、使用灯数の変化によって、幅広い照射エリアに対応いたします。
また、高出力が得られる直接照射タイプ（合成石英ガラスなし）への展開も可能です。