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UV技術 開発アイテム

UV照射装置 空冷式エキシマUV照射ユニット

キセノンエキシマUV照射ユニット 写真

ライン導入に絶大な威力を発揮する、省スペース・メンテナンス容易なキセノンエキシマUV照射ユニット

応用分野

表面改質、半導体洗浄、液晶基板洗浄

特長

コンパクト設計

細管キセノンエキシマランプ 写真

当社オリジナルの細管キセノンエキシマランプ(ø17.5mm)を新開発の空冷式灯具に搭載し、非常にシンプルなユニット構成を実現しました。

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従来のメタルハライドUVランプ 写真

ラインの僅かなスペースに設置可能であるとともに、メンテナンスも大変容易です。

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ランプ収納容積が小さいため、必要N2量が少なく、ユーティリティの面でも優れています。

照射ユニット(580mmランプ×2灯用の場合)*ユニットサイズ W×L×H=10×800×130mm *照射窓サイズ W×L=65×600mm

長寿命

細管エキシマランプは寿命特性に優れており、2000時間においても照度維持率70%以上を保持します。

拡張性

ランプ長、使用灯数の変化によって、幅広い照射エリアに対応いたします。
また、高出力が得られる直接照射タイプ(合成石英ガラスなし)への展開も可能です。

照射特性

主波長 172nm
有効発光長 276/580/1130/1530mm
照射幅(窓材幅) 65mm/2灯時、115mm/4灯時
窓面直下照度 20mW/cm2以上
軸方向均斉度 85% 以上
ランプ寿命 2000時間(照度維持率70%以上)
ランプ点灯 瞬時点灯・点滅
インターロック 2条件(反射板交換にて対応)

※表中の仕様は、改良のため予告なく変更する場合があります。

お問い合わせ

東芝ライテック 産業デバイス営業部

電話

電話:産業用光源
044-331-7571

電話

電話:自動車用光源
044-331-7570

FAX

FAX
044-548-9609

お問い合わせの際は、電話番号・FAX番号をお確かめのうえ、おかけ間違いのないようにご注意ください。

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